[发明专利]热流体流量传感器在审
| 申请号： | 201780088469.7 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110418944A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | A·德卢卡;F·乌德雷亚 | 申请（专利权）人： | 剑桥企业有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/688;G01F1/696;G01F1/698 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 在本文中公开了一种基于CMOS的流量传感器，该流量传感器包括具有蚀刻部分的衬底；位于衬底上的介电区，其中，介电区包括在衬底的蚀刻部分的区域上方的介电膜；形成在介电膜内的p‑n结型器件，其中，p‑n结型器件被配置为作为温度感测器件操作。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 蚀刻 流量传感器 介电膜 介电区 温度感测器件 热流体流量 传感器 配置 | ||
【主权项】：
1.一种基于CMOS的流量传感器，包括：包括蚀刻部分的衬底；位于衬底上的介电区，其中，介电区包括在衬底的蚀刻部分的区域上方的介电膜；形成在所述介电膜内的p‑n结型器件，其中，所述p‑n结型器件被配置为作为温度感测器件操作。
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