[发明专利]基板收纳容器有效
申请号: | 201780089334.2 | 申请日: | 2017-04-06 |
公开(公告)号: | CN110770889B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 佐藤恭兵 | 申请(专利权)人: | 未来儿股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 王玉玲;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种基板收纳容器,其具备:容器主体、盖体(3)和盖体侧基板支撑部(7),该盖体侧基板支撑部(7)在容器主体开口部被盖体(3)闭塞时,配置在与基板收纳空间对置的盖体(3)的部分,能够支撑多个基板的边缘部,盖体侧基板支撑部(7)具备:盖体侧基板承受部,其在支撑基板时承受基板的边缘部;框部(71),其是由盖体(3)的内面侧保持的框部(71)并具有朝向盖体(3)的内面侧的第一面(711)以及第一面(711)的相反面即第二面(712),盖体(3)具备框部保持部(35),其以插入状态保持框部(71)并具有与第一面(711)面对面的第三面(353)以及与第二面(712)面对面的第四面(354),进而,盖体侧基板支撑部(7)在框部(71)的第一面(711)侧具备向第三面(353)侧突出的第一凸部(76),并且在框部(71)的第二面(712)侧具备在框部(71)的插入状态下与框部保持部(35)卡合的卡合部(75)。 | ||
搜索关键词: | 收纳 容器 | ||
【主权项】:
1.一种基板收纳容器,其特征在于,具备:/n容器主体,其具备一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部且另一端部被闭塞的筒状壁部,由所述壁部的内面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间;/n盖体,其相对于所述容器主体开口部可装拆,能够闭塞所述容器主体开口部;/n盖体侧基板支撑部,其在所述容器主体开口部被所述盖体闭塞时,配置在与所述基板收纳空间对置的所述盖体的部分,能够支撑所述多个基板的边缘部;以及/n内侧基板支撑部,其在所述基板收纳空间内以与所述盖体侧基板支撑部配成对的方式配置,能够支撑所述多个基板的边缘部,在所述容器主体开口部被所述盖体闭塞时,能够与所述盖体侧基板支撑部协同动作,支撑所述多个基板;/n所述盖体侧基板支撑部具备:盖体侧基板承受部,其在支撑所述基板时,承受所述基板的边缘部;和框部,其是由所述盖体的内面侧保持的框部且具有朝向所述盖体的内面侧的第一面以及所述第一面的相反面即第二面;/n所述盖体具备框部保持部,其是以插入状态保持所述框部的框部保持部且具有与所述第一面面对面的第三面以及与所述第二面面对面的第四面,/n所述盖体侧基板支撑部还在所述框部的所述第一面侧具备向所述第三面侧突出的第一凸部,并且在所述框部的所述第二面侧具备在插入所述框部的状态下与所述框部保持部卡合的卡合部。/n
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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