[发明专利]一种优化电容形状的MEMS压电换能器有效
| 申请号： | 201780089773.3 | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110546776B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 冯端;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 锐迪科微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/30 | 分类号： | H10N30/30;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种优化电容形状的MEMS压电换能器，表面覆盖有m组电容(101,102,103,104,109)，m为≥2的自然数。当所述MEMS压电换能器加载一定载荷时，第一组电容中的任意一个所覆盖区域的应力＞第二组电容中的任意一个所覆盖区域的应力＞……＞第m‑1组电容中的任意一个所覆盖区域的应力＞第m电容中的任意一个所覆盖区域的应力。同一组电容之间进行串联和/或并联；不同组电容之间进行串联。根据MEMS压电换能器在加载一定载荷时的应力分布情况，对电容形状、位置、数量进行了优化设计。这可以显著减少压电换能器上因为应力分布不均而引起的电荷流动，增强压电换能器整体的机电换能系数，提高换能器的电信号输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 优化 电容 形状 mems 压电 换能器 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。/n
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