[发明专利]化学镀铂液和使用该化学镀铂液得到的铂覆膜有效
申请号: | 201780090500.0 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN110621806B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 柴田和也;上村宇庆 | 申请(专利权)人: | 日本高纯度化学株式会社 |
主分类号: | C23C18/44 | 分类号: | C23C18/44 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于洁;褚瑶杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明的课题在于提供:一种化学镀铂液,其能够以高析出效率进行镀覆处理,即使不含有硫或重金属类也不会发生自分解,镀浴稳定性优异;一种化学镀铂液,其能够抑制铂在图案外析出,仅在必要的位置进行镀铂。另外,本发明的课题在于提供使用了该化学镀铂液的铂镀膜的制造方法;实质上不包含硫和重金属的纯铂镀膜。通过在含有可溶性铂盐、络合剂以及硼氢化合物、氨基硼烷化合物或肼化合物中的任一种化合物、pH为7以上的化学镀铂液中进一步含有下述通式(1)所示的特定羟甲基化合物或其盐,解决了上述课题。R |
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搜索关键词: | 化学 镀铂液 使用 得到 铂覆膜 | ||
【主权项】:
1.一种化学镀铂液,其为含有可溶性铂盐、络合剂和还原剂且pH为7以上的化学镀铂液,该还原剂为硼氢化合物、氨基硼烷化合物或肼化合物中的任一种,该化学镀铂液的特征在于,/n其含有下述通式(1)所示的特定羟甲基化合物或其盐,/nR
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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