[发明专利]光图案生成装置有效
| 申请号： | 201780090519.5 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110622059B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 高田由香里;柳泽隆行 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/42 | 分类号： | G02B27/42;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 马建军;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光图案生成装置(100)的特征在于，该光图案生成装置(100)具备：第1激光光源(1)，其射出第1激光；第1衍射光学元件(2a)，其根据所述第1激光在与行进方向垂直的平面上的位置来变更所述第1激光的相位，射出具有相位分布的激光；第2衍射光学元件(2b)，其根据入射的激光在与行进方向垂直的平面上的位置来变更所述入射的激光的相位，射出形成光图案的激光；以及转变光学系统(3)，其配置在所述第1衍射光学元件与所述第2衍射光学元件之间，将从所述第1衍射光学元件(2a)射出的激光的相位分布转变成入射到所述第2衍射光学元件(2b)的激光的相位分布。通过该结构，能够无需考虑由第一个衍射光学元件(2a)的输出光的传播引起的波阵面变化，简单地设计第二个衍射光学元件(2b)。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 生成 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光图案生成装置，其特征在于，该光图案生成装置具备：/n第1激光光源，其射出第1激光；/n第1衍射光学元件，其根据所述第1激光在与行进方向垂直的平面上的位置来变更所述第1激光的相位，射出具有相位分布的激光；/n第2衍射光学元件，其根据入射的激光在与行进方向垂直的平面上的位置来变更所述入射的激光的相位，射出形成光图案的激光；以及/n转变光学系统，其配置在所述第1衍射光学元件与所述第2衍射光学元件之间，将从所述第1衍射光学元件射出的激光的相位分布转变成入射到所述第2衍射光学元件的激光的相位分布。/n
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