[发明专利]用于真空蒸镀的掩膜板、蒸镀方法、显示装置及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201780091437.2 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110692147A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 廖志富 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 用于真空蒸发镀膜的掩膜板、利用掩膜板进行蒸镀的方法、有机发光显示装置以及利用掩膜板进行蒸镀的设备。该掩膜板包括：衬底(100)；反射层(200)，反射层(200)设置在衬底(100)上，反射层(200)上具有镂空区域；吸热层(300)，吸热层(300)设置在衬底(100)具有反射层(200)的一侧且覆盖镂空区域。 | ||
| 搜索关键词： | 反射层 掩膜板 衬底 镂空区域 吸热层 蒸镀 有机发光显示装置 真空蒸发镀膜 覆盖 | ||
【主权项】：
一种用于真空蒸发镀膜的掩膜板，其特征在于，包括：/n衬底；/n反射层，所述反射层设置在所述衬底上，所述反射层上具有镂空区域；/n吸热层，所述吸热层设置在所述衬底具有所述反射层的一侧且覆盖所述镂空区域。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
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