[发明专利]基板清洗装置及清洗基板的方法在审
| 申请号： | 201780091762.9 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN110709355A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 徐顺龙;谢忠伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/32 | 分类号： | C02F1/32;B08B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种基板清洗装置，该基板清洗装置包括：清洗单元(100)，清洗单元(100)包括清洗槽(110)以及回收槽(120)，回收槽(120)被设置为能够回收清洗槽(110)中的水，并二次供给至清洗槽(110)中；以及杀菌单元(200)，杀菌单元(200)用于对回收槽(120)中的水进行杀菌。 | ||
| 搜索关键词： | 回收槽 清洗槽 基板清洗装置 清洗单元 杀菌单元 二次供给 杀菌 回收 | ||
【主权项】：
一种基板清洗装置，其特征在于，包括：/n清洗单元，所述清洗单元包括清洗槽以及回收槽，所述回收槽被设置为能够回收所述清洗槽中的水，并二次供给至所述清洗槽中；以及/n杀菌单元，所述杀菌单元用于对所述回收槽中的水进行杀菌。/n
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