[发明专利]废液存储装置和湿式蚀刻系统在审
| 申请号： | 201780092187.4 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110770177A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 徐蕊;曹飞;钟仁聪 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/06 | 分类号： | C02F9/06;C02F1/72;B65D88/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种废液存储装置(10)及具有该废液存储装置(10)的湿式蚀刻系统，用于存储湿式蚀刻产生的废液(20)，废液(20)包括第一溶质(22)和第二溶质(24)，第二溶质(24)为第一溶质(22)发生放热氧化反应的催化剂，废液存储装置(10)包括第一储液罐(11)和连接外部的络合剂溶液源(30)与第一储液罐(11)的第一管路(12)，第一储液罐(11)用于存储废液(20)，第一管路(12)用于将络合剂(32)导引到第一储液罐(11)，络合剂(32)用于抑制第二溶质(24)对第一溶质(22)反应的催化能力。其中，湿式蚀刻系统(100)包括用于蚀刻工件和产生废液(20)的湿式蚀刻机台(40)和废液存储装置(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 溶质 废液存储 湿式蚀刻 储液罐 废液 络合剂 存储 放热氧化反应 机台 络合剂溶液 催化能力 蚀刻工件 导引到 催化剂 外部 | ||
【主权项】：
一种废液存储装置，用于存储湿式蚀刻产生的废液，其特征在于，所述废液包括第一溶质和第二溶质，所述第二溶质为所述第一溶质发生放热氧化反应的催化剂，所述废液存储装置包括：/n第一储液罐，用于存储所述废液；和/n连接外部的络合剂溶液源与所述第一储液罐的第一管路，所述第一管路用于将所述络合剂导引到所述第一储液罐，所述络合剂用于抑制所述第二溶质对所述第一溶质反应的催化能力。/n
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