[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201780092518.4 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110800375B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 井上忠;田名部正治;关谷一成;笹本浩;佐藤辰宪;土屋信昭 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/505 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体处理装置包括：具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子的巴伦；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；以及被电连接至第二平衡端子的第二电极。当Rp表示从第一平衡端子和第二平衡端子的侧来看第一电极和第二电极的侧时的第一平衡端子与第二平衡端子之间的电阻成分，并且X表示第一不平衡端子与第一平衡端子之间的电感时，满足1.5≤X/Rp≤5000。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：/n巴伦，包括第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；/n被接地的真空容器；/n第一电极，被电连接至所述第一平衡端子；以及/n第二电极，被电连接至所述第二平衡端子，/n其中，当Rp表示从所述第一平衡端子和所述第二平衡端子的侧来看所述第一电极和所述第二电极的侧时的所述第一平衡端子与所述第二平衡端子之间的电阻成分，并且X表示所述第一不平衡端子与所述第一平衡端子之间的电感时，满足1.5≤X/Rp≤5000。/n
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