[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201780092519.9 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110800376B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 井上忠;田名部正治;关谷一成;笹本浩;佐藤辰宪;土屋信昭 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/505 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：/n巴伦，包括第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；/n被接地的真空容器；/n第一电极，被电连接至所述第一平衡端子；/n第二电极，被电连接至所述第二平衡端子；/n阻抗匹配电路；/n第一电源，经由所述阻抗匹配电路连接至所述巴伦，并被配置为经由所述阻抗匹配电路和所述巴伦向所述第一电极供给高频；/n低通滤波器；以及/n第二电源，被配置为经由所述低通滤波器向所述第一电极供给电压。/n
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