[发明专利]形成下层膜的组合物、图案形成方法及形成图案的下层膜形成用共聚物在审
| 申请号： | 201780092950.3 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110869851A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 服部贵美子;森田和代 | 申请（专利权）人： | 王子控股株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种形成下层膜的组合物，该形成下层膜的组合物的材料对有机溶剂的溶解度较高，可通过在大气下且相对低温的加热处理而形成难以破裂的下层膜，在形成有下层膜的情况下对于有机溶剂的涂布膜残留率较高。本发明是一种形成下层膜的组合物及图案形成方法，该形成下层膜的组合物包含共聚物及有机溶剂，共聚物具有聚合部a及聚合部b，聚合部a具有糖衍生物部，糖衍生物部为五碳糖衍生物部及六碳糖衍生物部中的至少一者，聚合部b不具有糖衍生物部，该形成下层膜的组合物为用于图案形成的下层膜形成用。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 下层 组合 图案 方法 共聚物 | ||
【主权项】：
暂无信息
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