[发明专利]偏振器装置以及具有偏振器装置的EUV辐射产生设备有效
申请号: | 201780093027.1 | 申请日: | 2017-07-12 |
公开(公告)号: | CN110869825B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | T·埃尔金 | 申请(专利权)人: | 通快激光系统半导体制造有限公司 |
主分类号: | G02B5/30 | 分类号: | G02B5/30;H01S3/10;G02B27/28;B23K26/064 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 郭毅 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及一种偏振器装置(1),该偏振器装置用于使激光射束(2)偏振,该偏振器装置包括:布置在激光射束(2)的射束路径中的多个板状光学元件(5,16),所述多个板状光学元件分别具有用于激光射束(2)的射束入射面(5a,6a,...)以及用于激光射束(2)的射束出射面(5b,6b,...),其中,相应的板状光学元件(5,16)的射束入射面(5a,6a,...)相对于激光射束(2)以布鲁斯特角(OB)地取向。板状光学元件(5,16)的射束入射面(5a,6a,...)与射束出射面(5b,6b,...)彼此分别以至少一个楔角(γ |
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搜索关键词: | 偏振 装置 以及 具有 euv 辐射 产生 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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