[发明专利]偏振器装置以及具有偏振器装置的EUV辐射产生设备有效

专利信息
申请号: 201780093027.1 申请日: 2017-07-12
公开(公告)号: CN110869825B 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: T·埃尔金 申请(专利权)人: 通快激光系统半导体制造有限公司
主分类号: G02B5/30 分类号: G02B5/30;H01S3/10;G02B27/28;B23K26/064
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 郭毅
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种偏振器装置(1),该偏振器装置用于使激光射束(2)偏振,该偏振器装置包括:布置在激光射束(2)的射束路径中的多个板状光学元件(5,16),所述多个板状光学元件分别具有用于激光射束(2)的射束入射面(5a,6a,...)以及用于激光射束(2)的射束出射面(5b,6b,...),其中,相应的板状光学元件(5,16)的射束入射面(5a,6a,...)相对于激光射束(2)以布鲁斯特角(OB)地取向。板状光学元件(5,16)的射束入射面(5a,6a,...)与射束出射面(5b,6b,...)彼此分别以至少一个楔角(γ1,γ2)取向。本发明还涉及一种具有这种偏振器装置(1)的EUV辐射产生设备。
搜索关键词: 偏振 装置 以及 具有 euv 辐射 产生 设备
【主权项】:
暂无信息
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