[发明专利]成膜掩模的制造方法在审
| 申请号： | 201780093312.3 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN110997969A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 岸本克彦;崎尾进 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 在掩模基材形成开口部的工序包含：工序A，形成第一区域(R1)内的开口部，其包含至少包含第(n/2)列或第{(n+1)/2}列的a根连续的列的开口部；工序B，形成第二区域(R2)内的开口部，其隔着包含sa根连续的列的第一间隙区域(RS1)，在‑x方向上与第一区域(R1)邻接，包含b根连续的列的开口部；工序C，形成第三区域(R3)内的开口部，其隔着包含sb根连续的列的第二间隙区域(RS2)，在x方向上与第一区域(R1)邻接，包含c根连续的列的开口部；在工序A之后进行工序B及工序C。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜掩模 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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