[发明专利]在成像叠加计量中利用叠加错位误差估计有效
| 申请号： | 201780093820.1 | 申请日： | 2017-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111033382B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | T·格林茨威格;N·古特曼;D·格瑞奥迪;M·吉诺乌克;V·莱温斯基;C·E·斯坦纳斯;N·雪渥尔;Y·帕斯卡维尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供系统及方法，其从至少一个计量成像目标中的每一ROI(所关注区域)的经分析测量计算叠加错位误差估计，且将所述经计算叠加错位误差估计并入在对应叠加错位估计中。所揭示实施例提供可以连续方式集成到计量测量过程中且此外依据叠加错位评估目标质量的分级及加权目标质量分析，所述分析形成用于评估来自例如生产步骤特性、测量参数及目标特性的不同源的误差的共同基础。接着，此类共同基础实现以下中的任一者：组合各种误差源以给出与测量保真度相关联的单个数目；在晶片级、批量级及过程级下分析各种误差；及/或通过减少测量次数而对于吞吐量以受控方式权衡所得准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 叠加 计量 利用 错位 误差 估计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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