[发明专利]相位调制器及其制作方法、硅基电光调制器有效
| 申请号： | 201780094544.0 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN111051969B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王志仁;周林杰;周砚扬;刘磊 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 夏欢 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种相位调制器及其制作方法以及一种硅基电光调制器，该相位调制器通过将P型掺杂区(2)划分成第一P型掺杂区(21)和第二P型掺杂区(22)两部分，将N型掺杂区(3)划分成第一N型掺杂区(31)和第二N型掺杂区(32)两部分，其中，第二P型掺杂区(22)的掺杂浓度小于第一P型掺杂区(21)的掺杂浓度，第二N型掺杂区(32)的掺杂浓度小于第一N型掺杂区(31)的掺杂浓度，从而利用第一P型掺杂区(21)和第一N型掺杂区(31)的重掺杂浓度实现相位调制器与驱动电路的良好电接触，并利用第二P型掺杂区(22)来降低P型掺杂区(2)靠近PN结结构(1)一侧的掺杂浓度，利用第二N型掺杂区(32)来降低N型掺杂区(3)靠近PN结结构(1)一侧的掺杂浓度，降低相位调制器的光传输损耗，进而降低硅基电光调制器的光传输损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 相位 调制器 及其 制作方法 电光 | ||
【主权项】：
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