[发明专利]基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法有效
| 申请号： | 201780095289.1 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111149060B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区港南二丁目*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法，所述基板搬运装置，其向保持装置的保持面搬运基板，且包括：第一保持部，设于所述保持面的上方，且保持所述基板的一部分与所述保持面的距离较所述基板的其他部分与所述保持面的距离更短的状态的所述基板；第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的其他部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部向沿着所述保持面的方向相对移动。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 曝光 装置 方法 平板 显示器 元件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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