[发明专利]加工装置、加工系统、及移动体的制造方法在审

专利信息
申请号: 201780096204.1 申请日: 2017-10-25
公开(公告)号: CN111263678A 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 白石雅之;江上茂树;川辺喜雄;立崎阳介;小笠原麦 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: B23K26/04 分类号: B23K26/04
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 胡林岭
地址: 日本东京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 加工装置(1)包括:光照射装置(11),对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL);及计测装置(71i、71j),计测通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)的相对于物体的位置。
搜索关键词: 加工 装置 系统 移动 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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