[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀方法以及有机EL显示设备的制造方法在审
申请号: | 201780097267.9 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN111492089A | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 岸本克彦 | 申请(专利权)人: | 堺显示器制品株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 王娟 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供抑制在蒸镀掩模的框架的热传导,并且,将重量变轻,此外对于施加特别大的应力的框架的部分,对于此大的应力也具有抗性的蒸镀掩模。包含:形成有开口图案的掩模本体(10);以及接合掩模本体的周缘部的至少一部分的框架(15);其中框架的至少一部分是将在内包空隙的核心部(151)的至少一部分的对向的面贴设面板(152)的夹心(sandwich)构造的单位构造体(155)介隔连接用面板(153)层叠而藉此形成为棒状的横框架(15b)。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀掩模 方法 以及 有机 el 显示 设备 制造 | ||
【主权项】:
暂无信息
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