[发明专利]薄膜晶体管、阵列基板及显示屏在审
| 申请号： | 201780097389.8 | 申请日： | 2017-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111433917A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 邱昌明;尹翔 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种薄膜晶体管，包括衬底(10)、位于衬底表面的栅极(11)、覆盖栅极的栅极绝缘层(12)、依次层叠于栅极绝缘层的有源层(13)和蚀刻阻挡层(14)以及位于蚀刻阻挡层的间隔设置的源极(17)和漏极(18)；蚀刻阻挡层上设有两个对称间隔设置的通槽(141)，源极和漏极分别通过两个通槽与有源层连接；两个通槽之间的间距的尺寸，由通槽的中心位置向有源层的宽度延伸方向减小。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 阵列 显示屏 | ||
【主权项】：
暂无信息
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