[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法在审

专利信息
申请号: 201780097952.1 申请日: 2017-12-25
公开(公告)号: CN111511957A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 岸本克彦;崎尾进 申请(专利权)人: 堺显示器制品株式会社
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 王娟
地址: 日本国大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 通过使用线膨胀系数较小、并且比重小、具有刚性的材料,从而提供一种轻量、且使用了尺寸偏差较小的框架的蒸镀掩模。本实施方式所公开的蒸镀掩模中,其框架(15)通过碳纤维强化塑料(CFRP)形成。
搜索关键词: 蒸镀掩模 方法 以及 有机 el 显示装置 制造
【主权项】:
暂无信息
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