[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法在审
申请号: | 201780097952.1 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN111511957A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 岸本克彦;崎尾进 | 申请(专利权)人: | 堺显示器制品株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 王娟 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 通过使用线膨胀系数较小、并且比重小、具有刚性的材料,从而提供一种轻量、且使用了尺寸偏差较小的框架的蒸镀掩模。本实施方式所公开的蒸镀掩模中,其框架(15)通过碳纤维强化塑料(CFRP)形成。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀掩模 方法 以及 有机 el 显示装置 制造 | ||
【主权项】:
暂无信息
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