[发明专利]加工装置

摘要

提供加工装置，实现兼顾提高利用气体喷射对被加工物去除含有加工屑的加工液的去除性能和减少气体消耗量。加工装置(1)具有：卡盘工作台(10)，其对被加工物(W)进行保持；加工单元(20)，其一边对卡盘工作台(10)所保持的被加工物(W)提供加工液一边进行加工；以及第一气帘喷嘴(82)，其向加工后的被加工物(W)吹送气体，将加工液从被加工物(W)去除。第一气帘喷嘴(82)跨越卡盘工作台(10)所移动的移动路径而延伸，朝向进行移动的卡盘工作台(10)上所保持的被加工物(W)间歇地喷射气体。

主权项

1.一种加工装置，该加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其一边对该卡盘工作台所保持的该被加工物提供加工液一边进行加工；以及气帘喷嘴，其向加工后的该被加工物吹送气体，将该加工液从该被加工物去除，该加工装置的特征在于，该气帘喷嘴朝向该被加工物间歇地喷射该气体。