[发明专利]一种改进的气相沉积炉

摘要

本发明是一种改进的气相沉积炉，包括带有炉底的炉体，炉体内安装有专用内筒，专用内筒连接有进气装置，还包括底部加热装置、循环冷却装置和尾气除焦装置。本发明通过改进筒壁结构形状，增加底部加热装置以及改进进气方式，达到均匀快速加热和节省材料的目的；本发明实现炉内强制冷却，大幅度缩短了炉体冷却时间；本发明能够及时清除排气管道内壁和过滤网上附着的焦油。

主权项

1.一种改进的气相沉积炉，包括带有炉底（4）的炉体（1），炉体（1）内安装有专用内筒（2），专用内筒（2）连接有进气装置（6），其特征在于：所述的专用内筒（2）包括上端部的内筒上圈（21）和下端部的内筒下圈（22），内筒上圈（21）和内筒下圈（22）之间是内侧面为光滑面的筒壁；所述筒壁包括纵横交错的筋板（23），相邻筋板之间为壁板（24）；壁板的厚度为筋板厚度的30%～40%；所述气相沉积炉还包括底部加热装置（5），底部加热装置（5）包括炉底（4）上开设的并且上端开口的凹槽，在该凹槽内安装有石墨加热器（55）；所述凹槽的上开口端安装有用于从上方覆盖石墨加热器（55）的碳碳复合材料板（53），该碳碳复合材料板（53）上开设有若干个均布的散热通孔（531）；所述的进气装置（6）包括由粗管（62）和设置在粗管（62）内并与粗管（62）走向一致的细管（61）构成的进气管，该进气管具有两个气道，其中一个是细管（61）形成的内气道，另一个是细管（61）和粗管（62）之间的环形外气道；内气道的出气端高于环形外气道的出气端；所述气相沉积炉还包括循环冷却装置（7），循环冷却装置（7）包括设置在炉体（1）外侧的管式冷却器（77），管式冷却器（77）的前端连接气相沉积炉的下排气孔（71），后端连接有风机（74），风机（74）的出气端连接专用内筒（2）的上端口（72）；所述气相沉积炉还包括尾气除焦装置（3），该尾气除焦装置（3）包括内端连接专用内筒（2）的排气主管道（31）和末端用于连接真空发生装置、前端与排气主管道（31）末端相连接的排气副管道（32），排气副管道（32）靠近排气主管道（31）末端的一段与排气主管道（31）走向相垂直；排气主管道（31）与排气副管道（32）的连接处通过油管连接有接油箱（34）；在排气主管道（31）中设有位于排气主管道（31）中心位置的电阻加热管（35），电阻加热管（35）外套有绝缘保护套（39）；电阻加热管（35）的根部与排气副管道（32）的管壁相连接；气相沉积炉尾气除焦装置还包括安装在排气主管道（31）中、绕电阻加热管（35）螺旋设置且以电阻加热管（35）为旋转中心的螺旋刮板（36），该螺旋刮板（36）的前端靠近排气主管道（31）的内端，螺旋刮板（36）的后端连接有从动齿轮（38）；从动齿轮（38）通过轴承安装在电阻加热管（35）上；与从动齿轮（38）相啮合的主动齿轮（37）与安装在排气副管道（32）外侧的电机（33）传动连接；所述齿轮和轴承均位于排气主管道（31）与排气副管道（32）的连接处内腔中。