[发明专利]一种段差检测设备及段差检测方法有效
| 申请号： | 201810004108.6 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN108267102B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘伟;陈丽宁 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种段差检测设备及段差检测方法，其中，所述段差检测设备包括：用于承载待检测基板的基板承载装置；位于基板承载装置上方的导轨；控制主机；压电陶瓷超声检测组件，与导轨可滑动连接，能够沿着导轨的延伸方向滑动，且与控制主机连接，用于接收控制主机输入的电压信号，向待检测基板发射第一超声波信号，接收第一超声波信号经待检测基板反射回的第二超声波信号，并根据第二超声波信号，确定待检测基板的段差数据。本发明的方案，利用压电陶瓷超声检测组件采用超声波对基板表面进行非接触段差检测，不仅能够对一些段差比较大或者水平位移要求比较高的基板表面进行有效检测，还能够避免划伤基板表面。 | ||
| 搜索关键词： | 段差 超声波信号 检测 基板 检测设备 导轨 基板承载装置 超声检测 基板表面 控制主机 压电陶瓷 接收控制主机 可滑动连接 电压信号 非接触段 水平位移 有效检测 超声波 对基板 滑动 划伤 反射 承载 发射 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种段差检测设备，其特征在于，包括：/n用于承载待检测基板的基板承载装置；/n位于所述基板承载装置上方的导轨；/n控制主机；/n压电陶瓷超声检测组件，与所述导轨可滑动连接，能够沿着所述导轨的延伸方向滑动，且与所述控制主机连接，用于接收所述控制主机输入的电压信号，向所述待检测基板发射第一超声波信号，接收所述第一超声波信号经所述待检测基板反射回的第二超声波信号，并根据所述第二超声波信号，确定所述待检测基板的段差数据；/n其中，所述压电陶瓷超声检测组件包括：/n压电陶瓷片，所述压电陶瓷片上具有压电陶瓷电极，用于在超声波产生阶段，通过所述压电陶瓷电极接收所述控制主机输入的电压信号，发生形变并产生所述第一超声波信号，向所述待检测基板发射所述第一超声波信号，并在超声波接受阶段，接收所述第一超声波信号经所述待检测基板反射回的第二超声波信号，发生形变并生成反馈电压信号，通过所述压电陶瓷电极输出所述反馈电压信号至分析装置；/n分析装置，用于根据所述反馈电压信号，确定所述待检测基板的段差数据；/n位于所述压电陶瓷片背向所述基板承载装置的一侧的检测电容，所述检测电容包括相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板位于所述第二极板背向所述压电陶瓷片的一侧，所述第二极板贴附在所述压电陶瓷片上，用于随着所述压电陶瓷片的形变而发生形变，以改变所述检测电容的电容值；/n所述分析装置还用于获取所述检测电容的所述第一极板和所述第二极板之间的电压差信号，并根据所述反馈电压信号以及所述电压差信号，确定所述待检测基板的段差数据。/n
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