[发明专利]元器件镀膜设备有效
| 申请号： | 201810004384.2 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN109989046B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 杨佳;张庆丰;俞洪涛;姚峥峥 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种元器件镀膜设备，包括：能绕自身轴线进行公转的主动模块；以及从动模块，连接到所述主动模块从而能跟随所述主动模块的公转而公转，与此同时所述从动模块绕自身轴线进行自转。本申请的元器件镀膜设备能够一次对大批量光学元器件进行镀膜且能够保证镀膜的均匀性及一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 元器件 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种元器件镀膜设备，包括：能绕自身轴线进行公转的主动模块；以及从动模块，连接到所述主动模块从而能跟随所述主动模块的公转而公转，与此同时所述从动模块绕自身轴线进行自转。
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