[发明专利]石墨烯/六方氮化硼/石墨烯紫外光探测器及制备方法在审
| 申请号： | 201810004657.3 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN108231945A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 刘恒;张兴旺;尹志岗;孟军华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L31/102 | 分类号： | H01L31/102;H01L31/0256;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤宝平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种石墨烯/六方氮化硼/石墨烯紫外光探测器，包括：一衬底；一绝缘层，其制作在衬底上，起到绝缘的作用；一第一石墨烯层，其制作在绝缘层上的中间部位，该第一石墨烯层为条状；一六方氮化硼层，其制作在第一石墨烯层上的一侧，并覆盖部分绝缘层；一第二石墨烯层，其制作在六方氮化硼层上，并覆盖部分绝缘层；一第一电极，其制作在绝缘层上，并与第一石墨烯层的一端接触；一第二电极，其制作在绝缘层上，并与第二石墨烯层的一端接触。本发明可保证器件具有高的响应速度及响应度，同时采用纵向器件结构，提高器件的集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘层 石墨烯层 石墨烯 制作 紫外光探测器 六方氮化硼 衬底 六方氮化硼层 氮化硼层 第二电极 第一电极 纵向器件 集成度 响应度 覆盖 绝缘 制备 响应 保证 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯/六方氮化硼/石墨烯紫外光探测器，包括：一衬底；一绝缘层，其制作在衬底上，起到绝缘的作用；一第一石墨烯层，其制作在绝缘层上的中间部位，该第一石墨烯层为条状；一六方氮化硼层，其制作在第一石墨烯层上的一侧，并覆盖部分绝缘层；一第二石墨烯层，其制作在六方氮化硼层上，并覆盖部分绝缘层；一第一电极，其制作在绝缘层上，并与第一石墨烯层的一端接触；一第二电极，其制作在在绝缘层上，并与第二石墨烯层的一端接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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