[发明专利]用于计算物体表面的高度图的方法和系统有效
| 申请号： | 201810004677.0 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN108801148B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | J·奎达克尔斯 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于计算物体表面的高度图的方法和系统。在用于从通过光学系统扫描物体表面的光学2.5D轮廓的图像栈计算物体表面的高度图的方法和系统中，在相对于物体表面的不同高度位置处扫描焦平面。在焦平面的各高度位置处拍摄图像以形成图像栈。扫描所述焦平面包括长距离感测和短距离感测焦平面的位移以感测低空间频率分量和高空间频率分量。通过将低空间频率分量和高空间频率分量结合估算焦平面的高度位置。基于估算的各相应焦平面的高度位置计算图像栈中各图像的高度位置。将图像栈的图像插值到等距的高度位置以获得校正的图像栈。从校正的图像栈计算物体表面的高度图。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 计算 物体 表面 高度 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于计算物体表面的高度图的方法，其从通过光学系统扫描物体表面的光学2.5D轮廓的图像栈计算物体表面的高度图，所述方法包括：在相对于所述物体表面的不同高度位置处扫描焦平面；在所述焦平面的各高度位置处拍摄图像以形成图像栈，其中，扫描所述焦平面包括：‑长距离感测所述焦平面的位移以感测低空间频率分量；‑短距离感测所述焦平面的位移以感测高空间频率分量；以及‑通过将所述低空间频率分量和所述高空间频率分量结合估算所述焦平面的高度位置；基于估算的各相应焦平面的高度位置计算所述图像栈中各图像的高度位置；将所述图像栈的所述图像插值到等距的高度位置以获得校正的图像栈；以及从校正的所述图像栈计算所述物体表面的所述高度图。
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