[发明专利]一种基于平面镜视场调节的光学系统失调量解算方法

摘要

本发明公开了一种基于平面镜视场调节的光学系统失调量解算方法，其实施步骤包括：基于平面镜光路反射原理建立光学系统的干涉检验模型，通过调节平面镜相对于理想位置的偏转角，对检测光路进行视场调节，从而获得不同视场下光学系统的波像差，基于波像差结果建立敏感度矩阵，对敏感度矩阵求伪逆，从而根据光学系统的敏感度矩阵、波像差实际值和波像差理想值计算光学系统的失调量。本发明适用于基于敏感度矩阵法求解光学系统的失调量，克服了传统求解过程中敏感度矩阵的建立受限于实验过程中干涉仪视场调节的问题。

主权项

1.一种基于平面镜视场调节的光学系统失调量解算方法，其特征在于实施步骤包括：1)基于平面镜光路反射原理建立光学系统的干涉检验模型；2)借助光学设计软件对干涉检验模型进行建模，根据待求失调量的对象和类型，在光学设计软件中进行仿真分析，通过人为调节平面镜的偏转角来调节视场并引入待求元件的失调量ΔX，获得并记录在不同视场下失调量ΔX对光学系统波像差影响的仿真结果，同时记录理想状态下光学系统的波像差F0；3)根据仿真结果优选不同视场下的像差项，建立敏感度矩阵A；4)计算敏感度矩阵A的条件数，判断敏感度矩阵A的条件数小于预设阈值是否成立，如果不成立，则跳转执行步骤3)；否则，跳转执行步骤5)；5)根据步骤1)中的干涉检验模型搭建实际的干涉光路测试系统；6)针对干涉光路测试系统，根据敏感度矩阵A中所选取的像差项的视场类型调节平面镜偏转角，获得当前光学系统的实际波像差Fm；7)根据光学系统的敏感度矩阵A、实际波像差Fm和理想状态下波像差F0计算实际光学系统的失调量。