[发明专利]一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积(IOC-SEVD)装置及其方法有效
| 申请号： | 201810008839.8 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN108286036B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 杨丽;周益春;谢志航;蔡书汉;朱旺 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 411105 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积IOC‑SEVD装置及其方法，该装置包括真空系统、e型电子枪、加热器、工件旋转夹持器和操控与显示模块，真空系统包括真空泵和真空腔体，e型电子枪包括电子枪发射座、电子枪偏转扫描磁场和旋转水冷坩埚，加热器包括加热丝和通过电路连接的加热电源，工件旋转夹持器包括旋转电机、传动轴和夹持器，操控与显示模块包括装置整体状态显示器和电子枪控制面板。该方法为利用上述装置进行热障涂层制备的方法。通过本发明的装置和方法，能制备出柱状微观结构均一、整体性能优异的热障涂层，满足热障涂层高性能、高稳定性、高工业产能的制备要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 补氧型 扫描 电子束 沉积 ioc sevd 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积IOC‑SEVD装置，其特征在于，包括：真空系统、e型电子枪、加热器、工件旋转夹持器和操控与显示模块；所述真空系统包括真空泵和真空腔体；真空腔体设有冷却水进出口、工作气体O2进气口及工作气体N2进气口；真空腔体内部还设有沉积挡板；侧开式真空腔体门上开有玻璃视窗；所述e型电子枪包括电子枪发射座、电子枪偏转扫描磁场和旋转水冷坩埚；所述加热器包括加热丝和通过电路连接的加热电源；所述工件旋转夹持器包括旋转电机、传动轴和夹持器；所述操控与显示模块包括装置整体状态显示器和电子枪控制面板。
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