[发明专利]一种防着板及其清洁方法以及薄膜沉积设备在审
| 申请号： | 201810011108.9 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN108149212A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张俊涛;古龙云;刘勃;王勇;陈川;殷天兰;王海文;戴阳;李杨 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种防着板及其清洁方法以及薄膜沉积设备，包括：基板，以及贴附于所述基板上的多层可逐层剥离的承载膜。工作时最上层的承载膜上在沉积工艺条件下形成工艺膜。当工艺膜叠加的厚度达到设定的阈值时，将承载膜连带工艺膜从防着板表面剥离。本发明提供的防着板，实现了防着板寿命的大幅延长，可以极大程度改善hillock，提高相关领域产品的产能及良品率；同时可以节省巨额防着板清洗费用。 | ||
| 搜索关键词： | 防着板 承载膜 工艺膜 薄膜沉积设备 基板 剥离 沉积工艺条件 领域产品 清洁 良品率 最上层 阈值时 产能 多层 连带 贴附 叠加 清洗 | ||
【主权项】：
一种防着板，其特征在于，包括：基板，以及贴附于所述基板上的多层可剥离承载膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810011108.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
