[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201810011510.7 | 申请日: | 2018-01-05 |
公开(公告)号: | CN109411535B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 廖文甲;刘滢溱;江承庭 | 申请(专利权)人: | 台达电子工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L23/485 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;郑特强 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体装置包含主动层、源极电极、漏极电极、栅极电极、源极垫、漏极垫与至少一源极外部连接元件。源极电极、漏极电极与栅极电极置于主动层的主动区上。源极垫电性连接至源极电极,并包含本体部、多个分支部与至少一电流分散部。本体部至少部分置于主动区并沿着第一方向延伸。分支部沿着第二方向延伸,第二方向不同于第一方向。电流分散部连接本体部与分支部,并沿着第一方向延伸。电流分散部的宽度大于任一分支部的宽度且小于本体部的一半宽度。漏极垫电性连接至漏极电极。源极外部连接元件置于本体部上且与电流分散部分开。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,包含:一主动层,具有一主动区;一源极电极、一漏极电极与一栅极电极,置于该主动层的该主动区上;一源极垫,电性连接至该源极电极,其中该源极垫包含:一本体部,至少部分置于该主动层的该主动区,其中该源极垫的该本体部沿着一第一方向延伸;多个分支部,沿着一第二方向延伸,其中该第二方向不同于该第一方向;以及至少一电流分散部,连接该源极垫的该本体部与该源极垫的多个所述分支部,并沿着该第一方向延伸,其中该源极垫的该电流分散部的宽度大于该源极垫的任一多个所述分支部的宽度且小于该源极垫的该本体部的一半宽度;一漏极垫,电性连接至该漏极电极;以及至少一源极外部连接元件,置于该源极垫的该本体部上且与该源极垫的该电流分散部分开。
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