[发明专利]真空阀有效
| 申请号： | 201810016287.5 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN108361400B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 小亀正人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K3/04 | 分类号： | F16K3/04;F16K3/06;F16K3/30;F16K27/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够使可靠性提高的真空阀。真空阀1包括收纳阀板6的阀体4、对阀板6进行开关驱动的驱动轴72、对驱动轴72进行真空密封的轴封80、以及防止微粒100侵入到轴封80的突出部8a。因此，即使在微粒100沿驱动轴72的方向产生有移动的情况下，也会通过突出部8a来阻止移动，从而可以防止微粒100侵入到轴封80部分。其结果为，可以防止由微粒100所引起的真空阀1的运行不良，从而使真空阀1的可靠性提高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【主权项】：
1.一种真空阀，其特征在于包括：阀体，收纳阀板；驱动轴，对所述阀板进行开关驱动；轴封，对所述驱动轴进行真空密封；以及防侵入壁，防止微粒侵入到所述轴封。
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