[发明专利]一种微坑阵列的制作方法

摘要

本发明公布了一种微坑阵列的制作方法，包括以下几个步骤：（1）制备磁性胶体粒子悬浮液。（2）在工件表面制备磁性胶体粒子膜。（3）以工件为阳极，在电解槽的阴极和阳极外侧加平行于电极的磁极，磁性胶体粒子在所加磁极产生的磁场作用力下被牢固地压在工件表面上，以表面覆有磁性胶体粒子的工件为阳极，以工件表面上的磁性胶体粒子为掩膜，在磁性胶体粒子之间的间隙中对工件进行电解腐蚀加工。（4）去除磁性胶体粒子，得到微坑结构。本发明利用磁场力对磁性胶体粒子的作用，有效解决了粒子掩膜电解过程中作为掩膜的胶体粒子和基底之间黏附力不足的问题，其掩膜固定方式简单、操作简单，可保证掩膜电解加工微坑阵列工艺地顺利进行。

主权项

1.一种微坑阵列的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）制备磁性胶体粒子悬浮液：取适量的磁性胶体粒子放入水中，加入表面活化剂、在超声振荡器中振荡一定时间获得磁性胶体粒子悬浮液；（2）制备磁性胶体粒子膜：将待加工工件表面进行抛光、除油、除锈、亲水处理，干燥备用；在工件表面滴涂磁性胶体粒子悬浮液，将其置入超声振荡器中的干燥容器中，在超声振动的作用下使磁性胶体粒子悬浮液在工件表面均匀分散开，干燥后在工件表面上得到均匀分布的磁性胶体粒子的单层膜；（3）电解腐蚀微坑：以工件为阳极，在电解槽的阴极和阳极外侧加平行于电极的磁极，磁性胶体粒子在所加磁极产生的磁场作用力下被牢固地压在工件表面上，以工件表面上的磁性胶体粒子为掩膜，在磁性胶体粒子之间的间隙中对工件进行电解加工；（4）去除磁性胶体粒子，得到微坑结构阵列：达到加工要求后，停止电解，取出工件，放入有机溶剂中超声振荡清洗，去除磁性胶体粒子，得到微坑阵列。