[发明专利]并行周向连续式等离子体镀膜装置有效
| 申请号： | 201810018511.4 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108179397B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;高斌;刘伟 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 33258 温州名创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈加利 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种并行周向连续式等离子体镀膜装置，其包括工艺腔体、回转腔体、进料系统、真空系统、物料车，工艺腔体内设置有多组工艺组件密封板、周向分布的多组储料腔、回转装置、物料引导装置，回转腔体设置有回转伸缩装置、物料传导装置、物料腔，进料口设置有可开合的密封门板，真空系统分别对工艺腔体与回转腔体的组合体、进料口进行真空处理，物料车上可装载树形单挂物料，工艺腔体内可形成独立真空室并独立进行工艺处理，回转装置可实现物料车的传动及自转，回转腔体内的物料腔可与储料腔及进料口形成密封的独立真空室并实现物料车传导，进料系统可将物料取出及放入。采用上述方案，本发明可实现批量单挂物料并行连续式镀膜生产。 | ||
| 搜索关键词： | 回转腔体 进料口 物料车 等离子体镀膜装置 并行 独立真空 工艺腔体 回转装置 进料系统 真空系统 体内 储料腔 工艺腔 连续式 物料腔 连续式镀膜 传导装置 工艺处理 工艺组件 密封门板 伸缩装置 引导装置 真空处理 周向分布 回转腔 可开合 密封板 组合体 自转 传动 放入 传导 回转 密封 装载 取出 生产 | ||
【主权项】：
1.一种并行周向连续式等离子体镀膜装置，其特征在于：包括工艺腔体、回转腔体、进料系统、真空系统、物料车，工艺腔体内设置有多组工艺组件密封板、周向分布的多组储料腔、回转装置、物料引导装置、进料口，回转腔体设置有回转伸缩装置、物料传导装置、物料腔，进料口设置有可开合的密封门板，真空系统分别对工艺腔体与回转腔体的组合体、进料口进行真空处理，物料车上装载树形单挂物料，工艺腔体内形成独立真空室并独立进行工艺处理，回转装置实现物料车的传动及自转，回转腔体内的物料腔可与储料腔及进料口形成密封的独立真空室并实现物料车传导，进料系统可将物料取出及放入。/n
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