[发明专利]用于单晶半导体材料的受控掺杂的液体掺杂系统和方法有效
| 申请号： | 201810018778.3 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN108103572B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | S·哈灵格尔;A·贾纳塔斯欧;R·斯卡拉;L·博纳诺;V·莫瑟 | 申请（专利权）人： | 各星有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 俞翠华 |
| 地址： | 中国香港九龙柯士甸道西1号*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 一种用于将液体掺杂剂引入半导体或太阳能级材料的熔体中的掺杂系统，包括用于保持掺杂剂的掺杂剂储器和供给管。掺杂剂储器包括体部和锥形端部，该锥形端部限定出具有比体部的截面积小的截面积的开口。供给管包括从储器的开口延伸的第一端部、位于第一端部的远侧的第二端部、布置在供给管的第二端部处的成角度的末端、用于阻止固体掺杂剂通过供给管的第一节流部、和用于控制液体掺杂剂的流动的第二节流部，该第二节流部布置在供给管的第二端部附近。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体材料 受控 掺杂 液体 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于将液体掺杂剂引入半导体或太阳能级材料的熔体中的掺杂系统，该系统包括：用于保持掺杂剂的掺杂剂储器，其中所述掺杂剂储器构造为从牵拉机构悬挂；和供给管，所述供给管从所述掺杂剂储器延伸，并且具有内径、连接到所述掺杂剂储器的第一端部、位于所述第一端部的远侧的第二端部、位于所述第一端部处的第一节流部、和位于所述第二端部处的第二节流部，其中所述第一节流部和所述第二节流部的内径均小于所述供给管的所述内径。
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