[发明专利]一种基于谐振点实时估算的微镜控制方法及其系统有效
| 申请号： | 201810019390.5 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108594869B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王春勇;黄明成 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G05D3/20 | 分类号： | G05D3/20 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于谐振点实时估算的微镜控制方法及其系统。该方法为，首先设置微镜快轴和慢轴的初始控制信号，然后采集微镜快轴和慢轴的输入信号和位置反馈信号；接着对位置反馈信号进行解算，更新微镜快轴和慢轴的频率、幅度和相位；最后检测微镜快轴和慢轴是否达到期望状态，若没有，则继续优化。本发明提高了控制刷新率，让快轴以谐振工作频率，慢轴和激光发射脉冲跟随快轴频率改变，为MEMS扫描微镜的高速优化振动提供了稳定驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谐振 实时 估算 控制 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于谐振点实时估算的微镜控制方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、设置微镜快轴和慢轴的初始控制信号；步骤2、采集微镜快轴和慢轴的输入信号和位置反馈信号；步骤3、对位置反馈信号进行解算，更新微镜快轴和慢轴的频率、幅度和相位；步骤4、检测微镜快轴和慢轴是否达到期望状态，若没有，则返回步骤2，否则结束。
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