[发明专利]一种定量相位测量方法、装置和系统有效
申请号: | 201810019504.6 | 申请日: | 2018-01-09 |
公开(公告)号: | CN108180867B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 彭翔;邓定南;何文奇;刘晓利 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 王利彬 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种定量相位测量方法、装置和系统,涉及光学成像技术领域。其中,该方法包括:获取多个离焦距离下待测物体的离焦全息图,根据多个离焦全息图,得到待测物体的复振幅分布,由复振幅分布计算待测物体的系统相位分布,并从系统相位分布中提取待测物体的相位分布。采用多个离焦全息图,即可得到待测物体的相位分布。不但避免频谱选择和引入相移单元,而且避免对待测物体的假设和预先系统知识的获取,进而使测量得到的相位准确,操作简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 定量 相位 测量方法 装置 系统 | ||
【主权项】:
1.一种定量相位测量方法,其特征在于,所述方法包括:获取多个离焦距离下待测物体的离焦全息图;根据所述多个离焦全息图,得到所述待测物体的复振幅分布;由所述复振幅分布计算所述待测物体的系统相位分布,并从所述系统相位分布中提取所述待测物体的相位分布。
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