[发明专利]一种面向静电悬浮式双级无拖曳平台的零刚度隔振方法有效
| 申请号： | 201810019668.9 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108278323B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 范达;贾海鹏 | 申请（专利权）人： | 中国空间技术研究院 |
| 主分类号： | F16F15/02 | 分类号： | F16F15/02 |
| 代理公司： | 11009 中国航天科技专利中心 | 代理人： | 陈鹏<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 100194 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种面向静电悬浮式双级无拖曳平台的零刚度隔振方法，通过引入悬浮载荷平台的位移，对悬浮控制算法的输出进行非线性调制，补偿位移引起的静电力变化，从而消除静电负刚度，实现零刚度的悬浮隔振。本发明方法可以实现绝对零刚度隔振，对宽频段范围内的振动能实现有效抑制，且由于零刚度的构建，使得两级系统完全解耦，平台系统间可以独立设计，互不影响，稳定性更好，方法流程简单。 | ||
| 搜索关键词： | 隔振 静电悬浮 拖曳 双级 悬浮 非线性调制 静电力变化 补偿位移 独立设计 两级系统 平台系统 悬浮控制 有效抑制 载荷平台 静电 宽频段 振动能 构建 解耦 算法 输出 引入 | ||
【主权项】：
1.一种面向静电悬浮式双级无拖曳平台的零刚度隔振方法，其特征在于包括如下步骤：/n(1)对静电悬浮平台系统反馈电压与电极静电力的关系进行线性化处理，使得强制静电负刚度为0；/n(2)在步骤(1)完成的基础上，针对静电悬浮式双级无拖曳平台，分别独立进行静电驱动及微推驱动控制的控制算法设计；/n(3)对步骤(2)所得静电驱动控制器的控制算法输出进行非线性调制，并将非线性调制后的控制算法输出作为静电驱动控制器的实际输出。/n
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