[发明专利]一种基于扫描电镜能谱分析的单颗粒矿物相自动识别及定量分析方法在审
| 申请号： | 201810019963.4 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108318515A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李娟;何同;陆现彩;陆建军 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210023 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于扫描电镜能谱分析的单颗粒矿物相自动识别及定量分析方法，属于矿物相的定量分析测试领域，为矿物相自动识别与鉴定提供基础，建立相似造岩矿物与含杂质矿物的准确鉴定方法。本发明包括：(1)将矿物单颗粒样品制成树脂靶并镀膜碳；(2)将样品靶置于专用样品台上，且样品表面与样品台上表面齐平；(3)背散射图像的采集，扫描电镜参数设置，电压15kV，光阑60Aperture，获取矿物单颗粒最适合的对比度图像；(4)对采集的每一帧单矿物图像，进行能谱面扫描，获得图像中全部单颗粒的能谱数据；(5)建立适用土壤样品系列的全矿物能谱识别数据库；(6)完成单颗粒矿物相的自动识别与定量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 单颗粒 矿物相 自动识别 矿物 定量分析 扫描电镜能谱分析 图像 能谱 定量分析测试 扫描电镜参数 采集 对比度图像 表面齐平 能谱数据 土壤样品 样品表面 杂质矿物 专用样品 背散射 单矿物 面扫描 树脂 镀膜 光阑 数据库 | ||
【主权项】：
1.一种基于扫描电镜能谱分析的单颗粒矿物相自动识别及定量分析方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将岩石矿物单颗粒样品制成树脂靶，喷碳；(2)将样品靶置于专用样品台上，且样品表面与样品台上表面齐平；(3)背散射图像的采集，扫描电镜参数设置，电压15kV，光阑60Aperture，进一步在背散射模式下，增加亮度至80%‑90%，对比度调整至40%‑50%，获取从灰度最暗的石英矿物到灰度最亮的锆石矿物最佳对比度的图像；(4)对整个视域的单矿物进行能谱面扫描，扫描时长为一帧，获得该帧下全部单颗粒相的能谱数据；(5)建立土壤类样品适用的全矿物48种能谱识别数据库；(6)每个样品采集约10000个单颗粒，采集的能谱数据与所述数据库相比较，进行单颗粒矿物相的自动识别与定量分析，将其最大化归类，未识别目标小于100颗。
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