[发明专利]一种制备分级微结构的纳米压印的装置及方法

摘要

本发明公开了一种制备分级微结构的纳米压印的装置及方法，包括放卷辊、衬底、张紧辊、处理腔、支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三、调节装置一、可调换式涂胶装置、红外线加热装置、调节装置二、换辊装置、背辊、刻蚀腔、导向辊和收卷辊，其中，放卷辊与收卷辊对衬底进行放卷和收卷，所有支撑辊及背辊进行支撑，调节装置一和调节装置二分别对可调换式涂胶装置及换辊装置进行调节，处理腔和刻蚀腔分别对衬底进行处理与刻蚀，红外线加热装置对光刻胶加热，导向辊对衬底进行导向，换辊装置进行压印辊的调换，共同协作完成压印流程。本发明解决了制备分级微结构需要多次模板对齐所需时间较长和对齐时易产生误差的问题，可以准确而又快速高效的制备分级微结构。

主权项

1.一种制备分级微结构的纳米压印的装置及方法，其特征在于，包括放卷辊，所述的放卷辊由伺服电机进行控制，衬底包裹在放卷辊上，能够在放卷辊的带动下进行运动；张紧辊，所述的张紧辊用于控制衬底的张紧程度；支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三，所述的支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三用于对衬底进行支撑；处理腔，所述的处理腔置于可调换式涂胶装置和放卷辊之间，用于将涂有平坦层的衬底平坦化；可调换式涂胶装置，所述的可调换式涂胶装置固定在调节装置一上，可以用于在衬底上涂抹光刻胶和平坦层；调节装置一，所述的调节装置一用于调节可调换式涂胶装置的高度以便于可调换式涂胶装置对涂胶装置一和涂胶装置二的相互调换，并使得涂胶装置可以涂抹指定的的胶层厚度；红外线加热装置，所述的红外线加热装置用于将光刻胶加热至玻璃化温度；换辊装置，所述的换辊装置固定于调节装置二上，可以用于在衬底的胶层上压印出不同形状的微纳图案；调节装置二，所述的调节装置二用于调节换辊装置的高度以便于换辊装置进行换辊，并可以使得压印辊下压指定的位移以施加相应的压印力；背辊，所述的背辊用于对压印部分的衬底及压印辊进行支撑；刻蚀腔，所述的刻蚀腔用于对压印完毕的图案进行刻蚀，取出残余胶层；导向辊，所述的导向辊用于对衬底进行导向；收卷辊，所述的收卷辊通过同步齿形带与放卷辊相连，衬底包裹在放卷辊上，收卷辊与放卷辊始终保持同步运动，使得衬底平稳运动。