[发明专利]一种应用于引信的微尺度MEMS能量疏导器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种应用于引信的微尺度MEMS能量疏导器件及其制备方法。本发明采用在绝缘衬底上设置一对放电极板，距离为1μm～8μm，封装在封装壳中，在一对放电极板上形成空气的流体介质，一对放电极板并联在火工品的两端；火工品在正常状态下，一对放电极板不导通，在火工品的两端为断路；当火工品上具有干扰的高脉冲的静电电压时，击穿空气的流体介质，使得一对放电极板导通，火工品短路，从而将干扰的高脉冲的静电电压疏导到MEMS能量疏导器件上，保证火工品的安全；本发明体积小、功耗低、成本低；本发明突破器件本身尺寸效应，可以实现在较低能量输入(也会造成被保护器件误触发)的情况下，结构击穿从而实现静电能量的疏导。

主权项

1.一种应用于引信的微尺度MEMS能量疏导器件，其特征在于，所述MEMS能量疏导器件包括：衬底、金属放电结构、流体介质、封装壳和电极；其中，在绝缘的衬底上设置金属放电结构；设置有金属放电结构的衬底封装在封装壳中，所述封装壳中充满空气，从而在金属放电结构的表面形成空气的流体介质；所述金属放电结构的两端分别通过引线连接至封装壳外；在封装壳外的两根引线的末端分别设置电极；所述金属放电结构的两端分别通过电极并联在引信上的火工品的两端；所述金属放电结构包括一对放电极板，一对放电极板之间有距离；火工品在正常状态下，一对放电极板之间有距离不导通，MEMS能量疏导器件在火工品的两端为断路；当火工品两端具有干扰的高脉冲的静电电压时，高脉冲的静电电压使得并联在火工品两端的MEMS能量疏器件的封装壳内封闭的小空间产生瞬态的高温和强电耦合环境，使得空气流体被激发，从而发生击穿；击穿电压使得一对放电极板导通，此时，火工品短路，高脉冲的静电能量被转移至MEMS能量疏导器件上，从而保证火工品的安全。