[发明专利]自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统有效
| 申请号： | 201810021843.8 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN108226179B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;李坚;李志宾;赵宝杰;郑云蛟;崔家宾 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统，所述自动光学检测设备的校准方法，包括：获取修复设备已修复的基板制程缺陷的偏移信息；偏移信息包括基板制程缺陷的坐标与修复设备的第一镜头的中心的坐标之间的偏移量；统计偏移信息，得到平均偏移量；根据平均偏移量校准自动光学检测设备中的第二镜头；第二镜头用于采集基板制程缺陷的坐标，第一镜头用于根据基板制程缺陷的坐标修复基板制程缺陷。根据本发明的实施例，可以提高校准精度，缩短校准确认时间。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 光学 检测 设备 校准 方法 修复 系统 | ||
【主权项】：
1.一种自动光学检测设备的校准方法，其特征在于，包括：获取修复设备已修复的基板制程缺陷的偏移信息；所述偏移信息包括所述基板制程缺陷的坐标与所述修复设备的第一镜头的中心的坐标之间的偏移量；统计所述偏移信息，得到平均偏移量；根据所述平均偏移量校准所述自动光学检测设备中的第二镜头；所述第二镜头用于采集基板制程缺陷的坐标，所述第一镜头用于根据所述基板制程缺陷的坐标修复所述基板制程缺陷。
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