[发明专利]一种多相绕组的偏转扫描装置及偏转扫描系统有效
| 申请号： | 201810023162.5 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN108305701B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 黄小东;韦寿祺;秦玉江;朱国坤;蔡树立;费翔;黄国华;张建飞;覃胤鸿;陆苇;黄兴泉 | 申请（专利权）人： | 桂林狮达技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/093 | 分类号： | G21K1/093 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多相绕组的偏转扫描装置及偏转扫描系统，该偏转扫描装置呈轴对称的喇叭状或圆柱状结构，其包括：铁磁框架和偏转扫描绕组；在铁磁框架内侧开有纵向延伸并沿圆周等分分布的2aw个线槽，由铁磁框架内壁围城的空腔构成偏转扫描装置的带电粒子束通道；所述偏转扫描绕组包括：w相绕组；每相绕组均对应地连接一相驱动电源单元。还涉及一种扫描系统，该偏转扫描系统包括：偏转扫描装置、驱动电源单元、中央控制器。本发明的偏转扫描装置中，w相绕组的轴线在偏转扫描装置的横截面上呈对称分布，降低了带电粒子束通道内磁感应强度的不均匀度，进而减少偏转扫描装置对带电粒子束的附加散焦作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多相 绕组 偏转 扫描 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种多相绕组的偏转扫描装置，其特征在于,该偏转扫描装置(1)为呈轴对称的喇叭状或圆柱状结构，所述偏转扫描装置(1)包括：铁磁框架(11)和偏转扫描绕组(12)；在铁磁框架(11)内侧开有纵向延伸沿圆周等分分布的2aw个线槽，以及由铁磁框架(11)内壁围城的空腔构成的所述偏转扫描装置的带电粒子束通道，其中a、w为整数,且a≥1，w≥3；所述偏转扫描绕组(12)包括：w相绕组(12i)；在所述偏转扫描装置(1)的横截面上所述w相绕组(12i)的轴线呈对称分布；每相绕组(12i)均对应地连接一相驱动电路(2i)，通电后所述w相绕组(12i)在所述偏转扫描装置(1)横截面上产生垂直于带电粒子束飞行方向的合磁动势，所述合磁动势产生正比的合磁感应强度，所述合磁感应强度驱动带电粒子束在垂直于带电粒子束飞行方向平面上移动。
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