[发明专利]一种共光路干涉条纹投射装置在审
申请号: | 201810023655.9 | 申请日: | 2018-01-10 |
公开(公告)号: | CN108562239A | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 文永富;李小燕;程灏波 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/25 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种共光路干涉条纹投射装置,包括:光源、会聚透镜、孔径光阑、准直透镜、可调光阑、显微物镜、干涉条纹产生装置和工业相机。光源发出的光束,先后经过会聚透镜和孔径光阑作用,再经过准直透镜和可调光阑作用,入射到显微物镜内形成高质量的点光源;点光源发出的光入射到干涉条纹产生装置后产生干涉条纹投射到待测物体表面,经物体反射的变形条纹图被工业相机采集,最后通过相位测量轮廓术算法恢复出物体的三维形貌。本发明装置具有结构简单稳定、干涉条纹图像中心和边缘亮度分布均匀且条纹周期调节方便等特点,可应用于工业检测等领域。 | ||
搜索关键词: | 干涉条纹 产生装置 工业相机 会聚透镜 可调光阑 孔径光阑 投射装置 显微物镜 准直透镜 点光源 共光路 光源 干涉条纹图像 相位测量轮廓 变形条纹图 待测物体 调节方便 工业检测 亮度分布 三维形貌 条纹周期 物体反射 光入射 入射 算法 投射 采集 应用 恢复 | ||
【主权项】:
1.一种共光路干涉条纹投射装置,其特征在于,所述投射装置包括:光源(1)、会聚透镜(2)、孔径光阑(3)、准直透镜(4)、可调光阑(5)、显微物镜(6)、干涉条纹产生装置(7)和工业相机(10);所述光源(1)发出的光束,先后经过会聚透镜(2)和孔径光阑(3)作用,再经过准直透镜(4)和可调光阑(5)作用后入射到显微物镜(6)内并出射形成高质量的点光源;所述高质量的点光源发出的光入射到干涉条纹产生装置(7)后产生干涉条纹投射到待测物体表面,经待测物体反射的变形条纹图被工业相机(10)采集,最后通过相位测量轮廓术算法恢复出所述待测物体的三维形貌。
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