[发明专利]一种常温气态工质定量充装系统及其充装方法

摘要

本发明公开的一种常温气态工质定量充装系统，包括：一标准容器；一气瓶，气瓶的出气口依次通过一减压电磁阀和一第一截止电磁阀与标准容器的高纯气体进口连接；一真空泵，真空泵依次通过一第二截止电磁阀和一第三截止电磁阀与标准容器的工质充装出口连接；一分子泵，分子泵通过一第四截止电磁阀并接在第二截止电磁阀与第三截止电磁阀之间的管路上；一三通换向电磁阀，三通换向电磁阀的第一端口通过一第五截止电磁阀与标准容器的工质充装出口连接，其第二端口并接在第二截止电磁阀与第三截止电磁阀之间的管路上，其第三端口与待充装工质的工件的充装进口连接。还公开了其充装方法。本发明有效地实现低沸点工质的定量气态充装和工质的高纯度充装。

主权项

1.一种常温气态工质定量充装系统，其特征在于，包括：一具备加热制冷功能的标准容器，所述标准容器具有一工质灌装进口、一温度检测端口、一压力检测端口、一高纯气体进口和一工质充装出口，所述标准容器的工质灌装进口与工质灌装设备连接；一设置在所述标准容器的温度检测端口上的温度传感器；一设置在所述标准容器的压力检测端口上的压力传感器；一设置在所述标准容器的工质灌装进口上的灌装流量计；一充装有高纯气体的气瓶，所述气瓶的出气口依次通过一减压电磁阀和一第一截止电磁阀与所述标准容器的高纯气体进口连接；一真空泵，所述真空泵的抽真空进口依次通过一第二截止电磁阀和一第三截止电磁阀与所述标准容器的工质充装出口连接；一分子泵，所述分子泵的抽真空进口通过一第四截止电磁阀并接在所述第二截止电磁阀与第三截止电磁阀之间的管路上；一三通换向电磁阀，所述三通换向电磁阀的第一端口通过一第五截止电磁阀与所述标准容器的工质充装出口连接，其第二端口并接在所述第二截止电磁阀与第三截止电磁阀之间的管路上，其第三端口与待充装工质的工件的充装进口连接；一安装在所述三通换向电磁阀与第五截止电磁阀之间的管路上的气体流量计；以及一PLC控制器，所述PLC控制器分别与所述标准容器、温度传感器、压力传感器、灌装流量计、真空泵、分子泵、气体流量计、减压电磁阀、第一、第二、第三、第四、第五截止电磁阀以及三通换向电磁阀连接。