[发明专利]一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法在审
| 申请号： | 201810024657.X | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108226032A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 傅星;齐慧;宋云鹏;吴森;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04;G01N21/84 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 300192*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法，是使用测量系统以微悬臂梁与显微干涉技术组合的方法实现原位高精度测量，对微悬臂梁弹性系数和显微干涉系统进行标定；由显微干涉系统观测并定位被测薄膜样品脱粘区域；由微悬臂梁的力曲线测量被测薄膜样品的塑性功，得到界面脱粘能；由微悬臂梁Z向位移测量被测薄膜样品的脱粘区域顶点的高度，并通过显微干涉系统测量的变形值对脱粘区域顶点的高度进行补偿；提高了薄膜与基底之间的粘附特性的测量精度，保证了测量的实效性和可靠性。本发明可以实现对薄膜与透明基底之间的粘附特性原位高精度测量，能够更精确地计算出界面能量释放率等薄膜与基底粘附特性信息，特别适用于薄膜与基底粘附特性的评价。 | ||
| 搜索关键词： | 粘附特性 基底 薄膜 测量 微悬臂梁 脱粘 显微干涉系统 薄膜样品 高精度测量 区域顶点 透明 弹性系数 界面能量 使用测量 位移测量 显微干涉 力曲线 释放率 塑性功 标定 应用 变形 观测 保证 | ||
【主权项】：
1.一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法，其特征在于，是使用测量系统以微悬臂梁与显微干涉技术组合的方法实现原位高精度测量，包括，对微悬臂梁弹性系数和显微干涉系统进行标定；由显微干涉系统观测并定位被测薄膜样品脱粘区域；由微悬臂梁的力曲线测量被测薄膜样品的塑性功，得到界面脱粘能；由微悬臂梁Z向位移测量被测薄膜样品的脱粘区域顶点的高度，并通过显微干涉系统测量的变形值对脱粘区域顶点的高度进行补偿；由显微图像测量薄膜脱粘区域的面积，最终由能量学模型计算界面能量释放率。
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