[发明专利]棱镜空气层厚度测量装置及测量方法有效
申请号: | 201810024780.1 | 申请日: | 2018-01-11 |
公开(公告)号: | CN108151663B | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 姚建政;徐裕宏 | 申请(专利权)人: | 天活松林光学(广州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 郑泽萍;谭英强 |
地址: | 511434 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种棱镜空气层厚度测量装置及测量方法,该测量装置包括白光光源、整形透镜、光谱接收器和控制器,白光光源、整形透镜、待测TIR棱镜和光谱接收器沿光线传播方向依次设置,光谱接收器与控制器连接;白光光源发出的光线经整形透镜后形成平行光束,平行光束从待测TIR棱镜的入射面入射后,经由待测TIR棱镜的空气层折射,然后从待测TIR棱镜的出射面出射后由光谱接收器接收;光谱接收器将接收到的光谱发送到控制器,控制器用于根据光谱中相邻两个波峰值或波谷值计算获得待测TIR棱镜的空气层厚度。本发明结构优良,测量精度高,而且可以用于测量棱镜任意部位的空气层厚度,操作简单、测量效率高,可广泛应用于光学制造领域中。 | ||
搜索关键词: | 光谱接收器 空气层 白光光源 整形透镜 控制器 棱镜 厚度测量装置 平行光束 测量 光谱 测量精度高 控制器连接 测量效率 测量装置 光线传播 光学制造 依次设置 出射面 入射面 波谷 出射 入射 折射 应用 | ||
【主权项】:
1.棱镜空气层厚度测量装置,用于测量待测TIR棱镜的空气层厚度,其特征在于,包括白光光源、整形透镜、光谱接收器和控制器,所述白光光源、整形透镜、待测TIR棱镜和光谱接收器沿光线传播方向依次设置,所述光谱接收器与控制器连接;/n所述白光光源发出的光线经整形透镜后形成平行光束,所述平行光束从待测TIR棱镜的入射面入射后,经由待测TIR棱镜的空气层折射,然后从待测TIR棱镜的出射面出射后由光谱接收器接收;/n所述光谱接收器将接收到的光谱发送到控制器,所述控制器用于根据光谱中相邻两个波峰值或波谷值计算获得待测TIR棱镜的空气层厚度;/n所述控制器通过以下公式计算获得空气层厚度:/n
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