[发明专利]具有改善固定的电容式力传感器有效

专利信息
申请号: 201810024820.2 申请日: 2018-01-11
公开(公告)号: CN108318159B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: B·斯密特;T·齐克尔巴赫;H·门特;J·瑙特;T·舒尔特海斯;S·霍夫曼;M·穆勒 申请(专利权)人: 普瑞有限公司
主分类号: G01L1/14 分类号: G01L1/14
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 郑勇
地址: 德国诺伊施*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 电容式力传感器,包括:平面基体;平面的、弹性的和/或弹性支承的薄膜体;两个彼此间隔布置的垫片;薄膜体通过垫片松动贴靠在在平面基体上,在薄膜体与平面基体之间、在垫片之间的区域中形成腔体,以在施加作用力F时在垫片之间的区域中发生薄膜体的移动和/或弯曲;薄膜体构成第一电极且在平面基体处设有第二电极,第一和第二电极限定具有随作用力F而变化的测量电容的第一精密电容器;为了电接触第一电极,设置有从每一垫片中延伸的至少一个电支架,其构成用于贴靠在平面基体处的底端,通过该底端,电支架与平面基体一体连接且电支架在所属的垫片与底端之间形成弧形部,从而使得相对于平面基体保持间隙,以使得薄膜体弹性附接至平面基体。
搜索关键词: 具有 改善 固定 电容 传感器
【主权项】:
1.一种电容式力传感器(1),其包括:平面基体(3);平面的、弹性的和/或弹性支承的薄膜体(2);两个彼此间隔布置的垫片(4a、4b);其中,所述薄膜体(2)通过所述垫片(4a、4b)松动地贴靠在在平面基体(3)上,其中,在所述薄膜体(2)与所述平面基体(3)之间、在所述垫片(4a、4b)之间的区域中形成腔体(8),以在存在作用于所述薄膜体(2)上的作用力F的情况下在所述垫片(4a、4b)之间的区域中发生所述薄膜体(2)的移动和/或弯曲,并且其中,所述薄膜体(2)构成第一电极并且在所述平面基体(3)处设置有第二电极(3a),其中,第一电极和第二电极(3a)限定了具有随所述作用力F而变化的测量电容的第一精密电容器,并且其中,为了电接触所述第一电极,设置有从所述垫片(4a、4b)中的每一个延伸的至少一个电支架(5),该至少一个电支架构成用于贴靠在所述平面基体(3)处的底端(5b),通过该底端所述电支架(5)与所述平面基体(3)一体连接并且所述电支架(5)在所属的垫片(4a)与所述底端(5b)之间形成弧形部(5a、5c),从而使得相对于平面基体保持间隙,以使得所述薄膜体(2)弹性附接至平面基体(3)。
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