[发明专利]版图差异的量化分析方法在审

专利信息
申请号: 201810024850.3 申请日: 2018-01-11
公开(公告)号: CN108170831A 公开(公告)日: 2018-06-15
发明(设计)人: 冯佳计;金晓亮;袁春雨;伍思昕 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G06F17/30 分类号: G06F17/30;G06T7/62;G06T7/66
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种版图差异的量化分析方法,步骤1、基于版图差异图形,定义并计算得到一组有关差异图形的特征向量,作为对图形归类的衡量标准;步骤2、根据不同项目所需提取相应的量化参数、或多个参量的组合,然后依据量化参数的大小排序,或根据多个参量组合中不同参量的权重组合进行排序,在版图差异的结果中突出重要性的差异,从而达到量化分析的目的。本发明能够将相似图形归类,并能避免遗漏重要差异结构。 1
搜索关键词: 量化分析 参量 量化参数 归类 排序 特征向量 重要差异 重组合 遗漏 衡量
【主权项】:
1.一种版图差异的量化分析方法,其特征在于,包括步骤如下:

步骤1、基于版图差异图形,定义并计算得到一组有关差异图形的特征向量,作为对图形归类的衡量标准;

步骤2、根据不同项目所需提取相应的量化参数、或多个参量的组合,然后依据量化参数的大小排序,或根据多个参量组合中不同参量的权重组合进行排序,在版图差异的结果中突出重要性的差异,从而达到量化分析的目的。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于:实施步骤1时,先基于差异图形自定义一组用以表征图形的量化参数,该量化参数包括图形面积、有效边长、覆盖图形的最小矩形的面积和图形的重心相对覆盖图形的最小矩形的重心的相对位移。

3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于:实施步骤1时,根据不同项目,基于量化参数构建图形的特征向量,用以图形的归类;如果两个图形的特征向量相同,则将这两个图形归为一类。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于:实施步骤2时,对版图差异报告中的图形归类之后,进一步提取项目所需量化参数,并计算其数值大小;确定版图差异图形的量化参数之后,依据量化参数的数值大小进行排序,进而知道变化因素对版图产生的影响。

5.如权利要求4所述的方法,其特征在于:所述变化因素包括版图修改、软件版本的不同、系统升级。

6.如权利要求4所述的方法,其特征在于:若项目需要评估改版造成的线宽差异,则量化参数选择有效边长,所选择的有效边长为两者中较大或者较小的一个,根据具体项目的具体需求而定。

7.如权利要求4所述的方法,其特征在于:若项目关心新旧版图的面积差异,则选择差异图形的面积作为量化参数进行排序。

8.如权利要求4所述的方法,其特征在于:对于多次的改版,则从量化的差异结果,评估不同改版造成的影响,降低版图修正带来的潜在风险。

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