[发明专利]长寿命LCD靶材组件及其形成方法在审
| 申请号： | 201810026120.7 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN110029316A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵子毅 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种长寿命LCD靶材组件及其形成方法，其中LCD靶材组件包括：背板，所述背板包括第一面；位于背板第一面的靶材，所述靶材具有预设厚度，所述靶材包括第二面；基板，所述基板包括第三面，且所述基板第三面与靶材第二面相对，所述基板第三面到背板第一面具有第一距离，所述第一距离决定预设厚度的大小。所述靶材的厚度较厚，使得靶材组件的使用寿命较长。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 靶材组件 背板 基板 长寿命 预设 距离决定 使用寿命 第二面 面具 | ||
【主权项】：
1.一种长寿命LCD靶材组件，其特征在于，包括：背板，所述背板包括第一面；位于背板第一面的靶材，所述靶材具有预设厚度，所述靶材包括第二面；基板，所述基板包括第三面，且所述第三面与靶材第二面相对，所述基板第三面到背板第一面具有第一距离，所述第一距离决定预设厚度的大小。
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