[发明专利]一种石墨烯微量氢气体传感器在审
申请号: | 201810026121.1 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108241008A | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 赵华君;袁代蓉 | 申请(专利权)人: | 重庆文理学院 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 402160 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 一种用于检测微量氢气体含量的传感器,其特征在于该结构由硅基底层、多孔硅层、渗铂微粒催化层和石墨烯传感区构成。当硅基底层厚度为0.8‑1.2毫米,多孔硅层厚度为1.4‑1.6毫米,渗铂微粒催化层厚度为10‑14微米,石墨烯传感区宽度为0.8‑1.2毫米,石墨烯传感区面积为(0.8‑1.2)×5平方毫米时,在氢气体浓度0‑1000ppm变化范围内,该传感器电阻变化达到2.0Ω,平均灵敏度为15%。特别是硅基底层厚度为1.0毫米,多孔硅层厚度为1.5毫米,渗铂微粒催化层厚度为12微米,石墨烯传感区宽度为1.0毫米,石墨烯传感区面积为1×5平方毫米时,传感器电阻变化达到2.4Ω,平均灵敏度达到24%。 | ||
搜索关键词: | 石墨烯 传感区 多孔硅层 硅基底层 铂微粒 催化层 传感器电阻 平方毫米 微量氢气 灵敏度 氢气体浓度 体传感器 传感器 检测 | ||
【主权项】:
1.一种用于微量氢气体检测的铂催化多孔硅掺杂石墨烯气体传感器,其特征在于该结构由硅基底层厚度为0.8‑1.2毫米,多孔硅层厚度为1.4‑1.6毫米,渗铂金属微粒催化层厚度为10‑14微米,石墨烯传感区宽度为0.8‑1.2毫米和石墨烯传感区面积为(0.8‑1.2)×5平方毫米。
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