[发明专利]一种石墨烯微量氢气体传感器在审

专利信息
申请号: 201810026121.1 申请日: 2018-01-03
公开(公告)号: CN108241008A 公开(公告)日: 2018-07-03
发明(设计)人: 赵华君;袁代蓉 申请(专利权)人: 重庆文理学院
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 402160 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 一种用于检测微量氢气体含量的传感器,其特征在于该结构由硅基底层、多孔硅层、渗铂微粒催化层和石墨烯传感区构成。当硅基底层厚度为0.8‑1.2毫米,多孔硅层厚度为1.4‑1.6毫米,渗铂微粒催化层厚度为10‑14微米,石墨烯传感区宽度为0.8‑1.2毫米,石墨烯传感区面积为(0.8‑1.2)×5平方毫米时,在氢气体浓度0‑1000ppm变化范围内,该传感器电阻变化达到2.0Ω,平均灵敏度为15%。特别是硅基底层厚度为1.0毫米,多孔硅层厚度为1.5毫米,渗铂微粒催化层厚度为12微米,石墨烯传感区宽度为1.0毫米,石墨烯传感区面积为1×5平方毫米时,传感器电阻变化达到2.4Ω,平均灵敏度达到24%。
搜索关键词: 石墨烯 传感区 多孔硅层 硅基底层 铂微粒 催化层 传感器电阻 平方毫米 微量氢气 灵敏度 氢气体浓度 体传感器 传感器 检测
【主权项】:
1.一种用于微量氢气体检测的铂催化多孔硅掺杂石墨烯气体传感器,其特征在于该结构由硅基底层厚度为0.8‑1.2毫米,多孔硅层厚度为1.4‑1.6毫米,渗铂金属微粒催化层厚度为10‑14微米,石墨烯传感区宽度为0.8‑1.2毫米和石墨烯传感区面积为(0.8‑1.2)×5平方毫米。
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